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ZYGO干涉仪是一种用于精密测量和光学检测的设备，它利用干涉原理来测量光学元件的表面形状、面形误差、折射率分布等参数。
ZYGO干涉仪主要由光源、干涉系统、测量系统以及数据处理系统等部分组成，干涉系统包括分束器、参考镜、测量镜头等部件，它们共同协作产生干涉现象，通过对干涉条纹的分析和处理，可以得到光学元件的各种参数。
ZYGO干涉仪具有高精度、高灵敏度、高分辨率等优点，广泛应用于光学制造、航空航天、半导体等领域，它可以用于光学元件的表面质量评估、光学系统的性能检测、光学元件的精密加工等领域，是光学行业不可或缺的一种检测设备。
ZYGO干涉仪是一种非常重要的光学测量仪器，它的发展对于提高光学元件和系统的制造质量、推动光学技术的发展具有重要意义。